셀 노광 시스템.

주요 특징.

1. 01미세 선폭 구현고효율 1kW UV 노광 모듈과 X, Y, Z, θ 정밀 정렬 시스템
2. 02전자동 시스템자동 로딩·언로딩, 컨베이어, 자동 정렬
3. 03높은 생산성짧은 택트 타임으로 월 20만 장 양산 가능
4. 04넓은 노광 면적빔 크기 최대 200 × 200mm, 균일도 ±5% 이내, 365nm 15 ~ 20mW/㎠