06 · 세정 공정

Mask Spin Cleaning System.

노광 공정에 쓰이는 Photo Mask를 세정하는 장비입니다. 화학약품과 서보모터로 식각, 세정, 건조 공정을 연속으로 수행하며, 주문자의 요구사항과 공간, 예산에 맞춰 제작합니다.

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Mask Spin Cleaning System 장비 사진

제품 사양.

User spec 협의 가능
장비Mask Spin Cleaning주문 제작, 식각 · 세정 · 건조 연속 공정이 사양으로 견적 의뢰
Main Body
Ivory Press PVC 8t
Spin Rotation Speed
100 ~ 1,500 rpm
Process Chamber
LDPP, SUS
Control System
Programmable Controller, S/W Control, PLC
Dimension
User Made
DI Rinse
Spray Arm, 상 · 하부 Nozzle, Hot DI System
N2 Supply
상 · 하부 Nozzle
Surfactant
Brush Arm, DI Supply
Option
Acid Etching System, Chemical Supply System

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