05 · 코팅 공정

Spin Coater System.

반도체 웨이퍼나 원하는 기판 위에 Photo Resist 박막을 균일하게 코팅하는 장비입니다. 소형 조각 기판부터 12인치 웨이퍼, 세라믹 기판과 현상(Developer) 용도까지 7개 모델이 있습니다.

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Spin Coater System 장비 사진

모델별 사양.

7개 모델을 기판 크기와 운용 방식에 따라 고를 수 있습니다. 모델을 선택하면 전체 사양을 보여 드립니다.

7 models
선택한 모델SP-44인치 웨이퍼까지, BLDC 모터이 모델로 견적 의뢰
Substrate Size
Pieces ~ 4 inch wafer
Spin Speed
50 ~ 6,000 rpm
Recipe
20 Recipe, 10 step
Spin Acceleration
~ 10,000 rpm/sec
Spin Motor
BLDC Motor
Spin Bowl
8 inch PP
Display
5” LCD Touch screen
Vacuum Pump
Oil-less Vacuum Pump

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